Установки регенерации серной кислоты
Системы отвода дымов, скрубберы, иные вспомогательные устройства
Установки регенерации серной кислоты
Установки регенерации серной кислоты могут быть поставлены как отдельно стоящие, или в составе установки травления. Степень очистки кислоты зависит отчасти от процесса, для которого нужна кислота: для электролитического травления степень очистки кислоты должна быть выше, чем для установки химического травления. При наличии интегрированной установки регенерации кислоты, электролитическое травление может проводиться при неизменном напряжении на электродах, поскольку в растворе не накапливаются частицы, которые могли бы изменить его электрическое сопротивление.